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　　真空應用中，超真空法蘭、真空材料會因為各式各樣的因素，難以避免地遭到各類塵埃、氧化物、油脂等等的污染。當污染物影響到真空系統(tǒng)運行或真空材料衛(wèi)生的時候，就需要對超真空法蘭和真空材料進行清洗，下面為大家介紹以下幾種清洗方法。

　　真空運用中，超真空法蘭、真空原材料會由于各種各樣的要素，難以避免地遭到各種塵埃、氧化物、油脂這些的污染。當污染物影響到真空系統(tǒng)運轉或真空原材料衛(wèi)生的那時候，就須要對超真空法蘭和真空原材料進行清洗，下邊為大家詳細介紹以下幾類清洗方式。

　　一、法蘭溶劑清洗

　　溶劑清洗是真空系統(tǒng)清洗中最為普遍的一種方法。常見的清洗溶劑包括有機溶劑、含洗滌劑的水、稀酸、堿、石油分餾物、各種金屬清洗劑等等。根據(jù)污染物的不同，需要用不同的溶劑進行清洗。如礦物油脂需要用有機溶劑，銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑等。

　　二、法蘭超聲波清洗

　　超聲波清洗是利用超聲空隙作用來清洗目標，可以實現(xiàn)很強的物理清洗作用，清除較強粘附污染物。超聲波清洗可以進入復雜的異形孔道，是很多清洗方法無法實現(xiàn)的。超聲波清洗在應用中，需要根據(jù)污染物的不同，配合各類清洗溶劑。

　　三、法蘭蒸汽脫脂清洗

　　蒸汽脫脂清洗適用于對表面油脂膜和類脂膜的清洗，操作方法簡單，可以實現(xiàn)大批量清洗。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴重的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以實現(xiàn)很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的最后一步。

　　四、法蘭電解侵蝕清洗

　　電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學穩(wěn)定性較高的合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼，鎳基合金等。

　　五、法蘭加熱和輻照清洗

　　加熱清洗主要是將部件置于常壓或真空中加熱，使其表面上的易揮發(fā)污染物揮發(fā)來達到清洗的目的。輻照清洗則是通過紫外輻照來分解部件表面上的碳氫化合物。

　　六、法蘭放電清洗

　　放電清洗一般用于高真空、超高真空系統(tǒng)清洗中。利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的去除。放電清洗的效果取決于電機材料、幾何形狀及其與表面的關系。

　　七、法蘭氮氣清洗

　　氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短，容易被抽走的特性，用氮氣沖洗被污染的真空系統(tǒng)，同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統(tǒng)的抽氣時間。